국내에는 두 개의 부쉬 지사가 있다.
1986년 국내 시장에 진출한 부쉬코리아는 화학, 제약, 자동차, 금속 등
생산라인에 진공 솔루션을 제공한다.
또 다른 지사인 부쉬메뉴팩쳐링코리아는 2012년 설립했다.
반도체, 디스플레이, 태양광, 2차전지 등 특정 산업에 특화된
진공펌프를 제조한다.
그랬던 부쉬가 최근 주목받고 있다.
네덜란드 ASML과 협력해 극자외선(EUV, extreme ultraviolet)
노광장비에 쓰이는 ‘진공시스템’을 개발했다는 사실이 알려지면서다.
EUV 진공시스템 시장은 그동안 영국 에드워드가 독점했다.
하지만 부쉬가 EUV 공정에 최적화된 진공시스템 구축에
성공하면서 에드워드의 강력한 대항마로 떠오르고 있다.
최윤진 부쉬코리아 대표로부터 EUV 진공시스템 개발과정 및
부쉬의 기술력에 대해 들어봤다.
최윤진 대표는 한때 광원 1위 기업이었다가 네덜란드 ASML에 합병된
‘사이머(Cymer)’에서 오랜 기간 근무한 EUV 전문가다.
최윤진 대표는 "부쉬는 설계부터 제조까지 ASML의 철저한 감독 아래
4년 동안 협력해 EUV 노광장비에 특화된 진공시스템 구축에 성공했다"고
설명했다.
그는 "EUV 노광장비 설치 과정에서 진공시스템 구현은 매우 중요한
과제 중 하나"라며 "EUV 노광장비는 워낙 고가여서, 장비가 멈추지
않고 가동할 수 있도록 주변 여건을 잘 조성하는 것이 중요하다"고
강조했다.
한편 부쉬는 오는 12월8일 《디일렉》이 개최하는 'EUV 글로벌 생태계
콘퍼런스'에서 EUV 진공시스템 관련 내용을 발표할 예정이다.
①-1 반도체 패권 좌우할 EUV의 모든 것...'2022 EUV 글로벌 콘퍼런스' (디일렉) 29p
