▣ 오늘의 KOVRA 핵심 NEWS(상세 내용 붙임 참조)

□ 오늘의 헤드라인

① "삼성·TSMC가 잠재 고객"…그래핀랩, 반도체 수율 높일 소재 개발 (한경 강경주 기자) 1p

ASML 장비 부스터 역할을 해줄 것으로 기대

최근 EUV 장비의 수율(양품 비율)을 대폭 끌어올릴 것으로

기대되는 소재가 국내 중소기업에 의해 개발돼 글로벌 반도체

지형에 변곡점이 될 것으로 보인다.

그래핀을 원료로 5나노 이하 EUV 펠리클(Pellicle) 제조 기술을

확보한 반도체·디스플레이 소재 개발사 그래핀랩이 주인공이다.

지난 5일 권용덕 그래핀랩 대표는 한국경제신문과의 인터뷰에

"그동안 실리콘을 재료로 만들던 펠리클을 그래핀 소재로 대체

하게 됐다"며 "그래핀으로 만든 펠리클은 ASML 장비를 사용하는

반도체 대기업들에게 수율을 끌어올려줄 부스터 역할을 할 것"

이라고 입을 열었다.

펠리클 소재가 중요한 이유는 노광 공정에서 발생하는 800도 이상의

고온에서 견뎌야해서다. 고온에 잘 견딜수록 수율이 높아진다.

실리콘은 고온에서 딱딱하게 굳는 특성 때문에 늘 파손의 우려가 있다.

또 다른 펠리클 재료인 탄소나노튜브(CNT)는 공정 중 수소와 만날

경우 화학 반응에 의한 손실이 일어나기도 한다. 실리콘과 CNT 소재

모두 수율 저하 가능성을 지니고 있다.

그래핀랩은 투과도와 내열성이 높은 그래핀이 펠리클 소재로 가장

적합하다고 봤다.

흑연을 원료로 한 그래핀은 두께가 0.2나노에 불과해 눈으로 볼 수

없을만큼 얇고 투명한 데다 신축성도 우수하다.

구리보다 100배 이상 전기가 잘 통하고 실리콘보다 100배 이상

전자 이동성이 빠른 것은 물론 강도는 강철의 200배, 열전도성은

다이아몬드보다 2배 이상 우수하기 때문에 '꿈의 신소재'로 불린다.

이어 "파운드리 주도권 다툼을 벌이고 있는 삼성전자와 TSMC,

인텔이 그래핀랩의 잠재적 고객"이라며 "그래핀을 적용한 EUV

펠리클 양산 사례는 전 세계에서 전무할 뿐만 아니라 생산 현장에서

만족할 만한 사양의 펠리클을 개발한 기업도 드물다"고 자신했다.

권 대표는 "글로벌 펠리클 시장은 2024년 약 1조원 규모로 형성될 것"

이라며 "일본의 수출 규제로 인한 소재 수급 불확실성을 제거하는 등

반도체 주권을 지키기 위해 필수 소재의 국산화에도 앞장서겠다"고 했다.

② [청론직설] “네덜란드 등 유럽, R&D 독창성·기술사업화 혁신 생태계 구축” (서경 고광본 선임기자) 3p

◆게릿 스톰 싱가포르국립대 의대 교수

네덜란드 나노의학 연구 성과 싱가포르 병원에서 임상

유럽, 연구 논문 그치지 않고 산학협력 촉진 적극 나서

모험적 기업가정신 발휘…사회·기업에 도움 되게 유도

"韓, 유럽과 R&D·인재 교류 부족…글로벌 마인드 필요"

“네덜란드 사람들은 매우 모험적인 기업가정신을 갖고 있습니다.

연구개발(R&D) 생태계도 기초과학은 물론 약학과 같은 응용

분야에서도 독창성과 창의성을 강조하지요.

정부는 대학과 기업이 협력할 때 혁신이 일어나도록 촉진하고요.

독일 등 다른 유럽에서도 대체로 그렇지만요.”

네덜란드 출신인 게릿 스톰 싱가포르국립대 의대 교수는 최근

싱가포르에서 열린 ‘2022 한·아시아과학기술학술대회(AKC)’

를 계기로 싱가포르와 서울에서 기자와 수차례 인터뷰를 갖고

“대학 등의 연구 결과가 논문에만 그쳐서는 안 되고 사회에

도움이 될 수 있도록 기술사업화를 꾀해야 한다”며 이같이

밝혔다.

스톰 교수는 “네덜란드와 싱가포르에 있는 3곳의 연구실에

다양한 나라의 학생과 연구원이 있는데 유감스럽게도 아직