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제목 2023.2.3(금) KOVRA NEWS 등록일 2023.02.03 04:57
글쓴이 한국진공기술연구조합 조회 233

 오늘의 KOVRA 핵심 NEWS(상세 내용 붙임 참조)


□ 오늘의 헤드라인

① 반도체 세정장비 특화한 제우스(KOVRA 상임이사)‘산업용 로봇’도 성과낼까 (Bloter 김수민 기자) 1p


반도체·디스플레이·로봇 장비 기업 제우스가 반도체 세정장비 특화와

신사업으로 육성하고 있는 산업용 로봇을 통해 더 큰 도약을 준비하고 있다.

제우스는 반도체 공정의 습식(Wet) 장비와 열처리 장비디스플레이 패널의

열처리 장비산업용 로봇 등을 생산하는 회사다.


2022 3분기 누적 매출 기준 반도체 장비가 전체 매출의 61.4%를 차지한다.

이밖에 디스플레이 및 태양전지 장비가 15.7%, 산업용 로봇 및 펌프가 18.8%

차지하고 있다.

제우스의 눈여겨볼 핵심 경쟁력은 반도체 세정장비 특화중소형 산업용 로봇 등이

손꼽힌다.

제우스는 여타 반도체 장비사와 달리 반도체 세정장비를 특화해 시장에 대응했다.


세정공정에 사용되는 싱글 웨이퍼 세정장비배치(Batch) 웨이퍼 세정장비를

중심으로 전공정과 후공정 전반의 설비를 제조·공급하고 있다.


싱글형(매엽식)은 반도체 웨이퍼의 불순물을 한 장씩 처리하며배치식은 한번에

20~50장의 웨이퍼를 처리한다.


최근 반도체 산업은 미세공정의 발달로 인해 세정 공정의 중요성이 커지고 있다.

제우스는 매엽식 장비배치식 장비를 모두 보유하고 있는 국내 유일 업체다.

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